Il numero di particelle in photoresist deve essere controllato. Il numero di particelle nella soluzione di fotoresist determina direttamente la qualità di elaborazione del modello e la resa dei dispositivi successivi. Il dimensionatore di particelle liquide è un'apparecchiatura di base per lo sviluppo elettronico del materiale, utilizzato come contatore di particelle liquide per mantenere l'alta pulizia durante la produzione di semiconduttori e pannelli di visualizzazione. Può rilevare particelle con una dimensione minima di 0.07um in prodotti quali fotoresist e SOG. Adatto per lo sviluppo del materiale fotoresist e l'ispezione del materiale in entrata.

KS-41APrincipali parametri tecnici
Metodo di prova: Off-line
Dimensione minima delle particelle misurata: 0,15um
Gamma di dimensioni delle particelle: 0.15um-0.5um
Canale impostato in fabbrica: 0.15/0.2/0.3/0.5um
Può essere ampliato a 10 canali da solo
Portata liquida: 10mL / min
Fonte luminosa: diodo laser (lunghezza d'onda 830nm, potenza di uscita: 200mW)
Concentrazione testabile delle particelle: 1200 particelle/mL (valore di errore entro il 5% per 0.15um)